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                在线CVD法生产单向透视玻璃的工作原理及工艺流程
                 发布时间:2015年08月31日 浏览:3891

                在线CVD制?备硅质膜技术是以硅烷、乙烯为原?料?,浮法锡槽为制备硅质?膜提供了适合的温度和还原性气氛。硅烷、乙烯和氮气?按一定比例进入安置在玻璃板上面的反应器,并以稳定的层流方式流过玻璃板表面,这时,硅烷借助反应器的特殊?结构,并在还原气氛的条件下,温度超过400℃时开始分解?,形成产物是无定?形硅,当温度?超过600℃时,形成多晶硅。多晶硅?沉积在玻璃表面形成硅质膜层,同时硅烷反应后产生的氢被乙烯吸附,生产?乙烷和甲烷。这些多余气体和呈褐色的多余硅质粉一起从反应器两侧的排气?孔排走,其化学反应式?如下:

                SiH4Si+H

                C2H4+HC2O6(CH)

                浮法玻璃在线?镀硅质膜生产工艺示意图见4-19.

                在线镀硅质膜生产工艺示意

                混?合气体经由反应器以层流方式流向玻璃板,经过扩散、吸附、热分解?和氢解吸附,从而在玻璃板上沉积形成多晶硅膜。

                以上文章由天津锦泰特种玻璃科技有限公司所?编撰,如需转载,请注明来?源于/。


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